Počkejte chvíli...
Nepřihlášený uživatel
Vydavatelství VŠCHT Praha
Nacházíte se: VŠCHT PrahaCISVydavatelství  → Katalog → Publikace
iduzel: 22937
idvazba: 29138
šablona: stranka_submenu
čas: 14.11.2019 20:57:01
verze: 4621
uzivatel:
remoteAPIs: http://147.33.74.135/rest/katalog/publikace
branch: trunk
Obnovit | RAW

Export citace

Technologie materiálů pro elektroniku a optoelektroniku


Autor Hüttel Ivan
Vydavatel VŠCHT Praha (1. vydání, 2000)
ISBN 80-7080-387-8
Počet stran 200
Počet obrázků 175
Cena 292 Kč *
Koupit

* Ceny jsou uvedeny včetně DPH a jsou platné k 22. 1. 2013. Doprava zboží na území České republiky je zajišťována prostřednictvím společnosti PPL. Zásilky do zahraničí jsou odesílány prostřednictvím PPL jako dobírka.

Anotace

Technologie polovodivých materiálů zahrnuje velmi širokou oblast materiálů a v rámci jednoho skripta není možné ji celou obsáhnout. Z tohoto důvodu je pozornost věnována pouze základním a technicky významným polovodivým materiálům jako je křemík a některé vybrané sloučeniny typu AIIIBV, zvláště GaAs a to ještě převážně přípravě těchto materiálů ve formě monokrystalů. Proto relativně velká část skript obsahuje popis technologie přípravy monokrystalu křemíku a arsenidu galitého jako výchozích materiálů pro výrobu mikroelektronických a optoelektronických součástek. Popsány jsou i metody přípravy tenkých vrstev dielektrických, kovových a polovodivých, které jsou důležité v technologii těchto součástek. Dále jsou ve skriptu zařazeny kapitoly zaměřené na základní technologické operace používané v technologii polovodičů, jako je epitaxe, difúze, implantace na jedné straně a fotolitografické postupy a tvarování (suché a mokré procesy) polovodivých struktur na straně druhé. Logický sled technologických,postupů a operací doplňuje kapitola věnovaná i výrobě čipů polovodivých součástek a jejich zpracováni a pouzdření. Cílem tohoto postupu je umožnit posluchačům získat přehled o technologických postupech, jejich náročnosti a potřebách, s kterými se mohou setkat při výrobě i výzkumu mikroelektronických a optoelektronických struktur a zvláště integrovaných obvodů, jako nejvýznamnější průmyslové aplikace moderních polovodivých monokrystalických materiálů. Převážně jsou popisovány principy a postupy přípravy monolitických struktur a značně stranou byly ponechány technologie tenkovrstvových či tlustovrstvových obvodů, které nemají tak bezprostřední vztah k technologii polovodičů.

    obsah publikace není k dispozici
    Aktualizováno: 22.10.2015 14:13, Autor: Petr Čech

    VŠCHT Praha
    Technická 5
    166 28 Praha 6 – Dejvice
    IČO: 60461373
    DIČ: CZ60461373

    Datová schránka: sp4j9ch

    Copyright VŠCHT Praha 2014
    Za informace odpovídá Vydavatelství VŠCHT Praha, technický správce Výpočetní centrum
    zobrazit plnou verzi